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SPM-FIB-SEM系统联用在集成电路失效分析中的应用

发布时间:2019-08-16 浏览量:49
相关探针和电子显微镜(CPEM)是一种结合扫描电子显微镜(SEM)和扫描探针显微镜(SPM)的新技术。 集成电路中的目标层可以通过SEM和SPM在同一地点,同时和相同的协调下进行分析系统。CPEM图像包含表面形貌信息以及典型的SEM细节,SPM / FIB / SEM技术的集成显着简化了用于故障分析,质量控制和集成电路研发的去层过程.


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