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原子力显微镜联用

发布时间：2019-08-22　浏览量：2282　来源：网络

liteScope™

LiteScope™是一种独特的扫描探针显微镜（SPM）。它设计用于轻松集成到各种扫描电子显微镜（SEM）中。组合互补的SPM和SEM技术使其能够利用两者的优势。使用LiteScope™及其可更换探针系列，可以轻松进行复杂的样品分析，包括表面形貌，机械性能，电性能，化学成分，磁性能等的表征。

LiteScope™的设计还使其可以与其他SEM配件结合使用聚焦离子束（FIB）或气体注入系统（GIS）用于制造纳米/微结构和表面改性。在这种组合中，LiteScope™可对制造的结构进行快速简便的3D检测。

此外，LiteScope™开辟了一个全新的测量技术领域，可实现相关显微镜，即所谓的相关探针和电子显微镜（CPEM）。 CPEM技术是市场上首创的技术。它可以在同一个地方进行SPM和SEM测量，同时，使用相同的协调系统。只有CPEM技术才能为您带来SPM和SEM技术相关成像的全部优势。

特点

LiteScope™可提高性能的SEM升级
可作为现有显微镜的插件或作为新的SEM使用
独特的相关探针和电子显微镜（CPEM）技术
复杂的表面表征

- 形貌，粗糙度，磁性，导电性，电性能

自感应探头，无需光学检测，无需激光调整
LiteScope™易于安装到SEM的样品台上/从样品台中取出
兼容FIB，GIS，EDX等配件
在倾斜位置（角度0°-60°），最小工作距离5毫米
可伸缩的测量头可释放样品周围的空间
市售探针，种类繁多测量模式
快速简便地更换探头和样本
用户友好的软件，在网络浏览器中操作，轻松远程访问
LiteScope™也可作为独立的SPM使用

LiteScope™是现有SEM仪器工作方式的强大增强功能。但是，还有更多的东西。相关显微镜结合了使用两种不同技术对同一物体成像的好处。来自单独图像的数据的相关性提供了关于样本的更详细信息，否则这些信息将太复杂而无法分析。
NenoVision开发了独特的技术-相关探针和电子显微镜（专利申请中）-用于相关成像。CPEM能够通过SEM和SPM确定样品区域的表面特征同时使用相同的协调系统。

技术规格

LiteScope™是一款完全可操作的SPM，可让用户获得详细信息
纳米尺度样品的特征。
它可以用作独立的显微镜
或与电子束结合，这是它的最大优点。 LiteScope™通常在高真空下操作，但可根据要求适用于超高真空。
LiteScope™连接到SEM / FIB显微镜的样品台，从而可以根据用户的喜好进行操作。 LiteScope™能够测量
在倾斜位置，例如用于与FIB技术同时使用。在这种情况下，用户将会欣赏对接选项，从而可以将整个SPM探针缩回并隐藏在LiteScope™的主体中。
机械设计在刚性和适当的共振频率方面尊重所有基本结构要求。结果是高度稳定的机架，机械振动水平极低，可产生极其可靠的结果。

设计亮点

薄型和小尺寸可集成在SEM / FIB仪器中
易于集成的程序 - 安装在SEM / FIB操纵器上
通用探头支架适用于多种SPM方法和简单的“即插即用”组装
样品倾斜高达60°
优化的机械设计，具有极低的振动水平（刚性和适当的共振频率），集成前置放大器（尽可能消除信号失真/噪声）

LiteScope™数据

总重量		1公斤
真空工作范围		105Pa至10-5Pa
扫描范围X，Y，Z		100 μm × 100 μm × 100 μm
最大样本量		10毫米×10毫米
最大样本高度		8毫米
解析度		高达0.4纳米

应用

   LiteScope™有许多应用，从基础学术研究到工业中的故障分析。主要应用与分析有关，特别是在传统SEM不能提供足够信息的情况下，使用SPM需要额外的3D成像。其他或互补成像模式的可用性进一步拓宽了应用领域。

   独特的CPEM技术及其相关成像技术可应用于要求苛刻的领域，使用常规SEM进行成像可能会因与化学对比度相关的表面污染而干扰表面形貌而提供误导信息。CPEM是实时准确分析和解释图像的理想解决方案。
材料科学和纳米技术领域的基础研究需要使用不同的分析方法对表面和纳米结构进行详细和全面的分析。这是基于充分理解原则的需要
纳米级范围。  LiteScope™是这些科学应用的理想工具。

   对于诸如FIB和GIS之类的技术而言，其直接优势是显而易见的，其中结构直接在SEM中形成。新建结构的3D分析工具至关重要。此外，配备CPEM和其他成像模式的LiteScope™可以对制备的结构和纳米器件进行复杂的分析。

在工业质量控制和研发实验室中，LiteScope™有助于识别表面结构，地形，表面粗糙度，污染等。这些能力受到需要验证质量的工业客户的高度重视。表面，因此可以节省因故障造成的损失。
LiteScope™可应用于广泛的行业，包括那些领域的行业半导体，太阳能电池，存储器件，MEMS和NEMS。这些领域比其他领域更需要纳米级分析。如今，纳米电路和纳米器件的复杂分析要求越来越高。 LiteScope™通过实时扩展样品的3D成像和多重表征来满足这些需求。